BME VIK - Műszeres analitika az elektronikai technológiában

3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Gordon Péter Róbert,

4. A tantárgy előadója

Név:	Beosztás:	Tanszék, Int.:
Dr. Harsányi Gábor	egyetemi tanár	ETT
Dr. Pécz Béla	MTA dr.	MFA
Molnár László Milán	adjunktus	ETT

5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

Fizika, Anyagtudomány

6. Előtanulmányi rend

Ajánlott:
Nincs

7. A tantárgy célkitűzése A tantárgy célja, hogy a hallgatók megismerjék azokat az analitikai módszereket, melyeket az elektronikai technológia terüléten alkalmazott eszközök, alkatrészek és struktúrák topográfiai és anyagösszetétel jellemzőinek meghatározására használhatnak.

A tárgyat teljesítő hallgató képessé válik adott feladathoz a megfelelő analitikai módszer kiválasztására, melyet a módszerrel nyerhető információk és a korlátozó tényezők alapján dönt el.

8. A tantárgy részletes tematikája Topográfiai, szerkezeti vizsgálatok:

SEM (Scanning Electron Microscope, pásztázó elektron mikroszkóp) [1, 3]
TEM (Transmission Electron Microscope, transzmissziós elektron mikroszkóp) [2, 3]
AFM (Atomic Force Microscope, atomerő mikroszkóp) [4, 5]

Kontakt és nem kontakt mérési módok
AFM-hez kapcsolódó egyéb SPM módszerek (pl. Magnetic Force Microscopy, Electrostatic Force Microscopy, stb.)

STM (Scanning Tunneling Microscope, pásztázó alagút mikroszkóp) [4, 5]
CLSM (Confocal Laser Scanning Microscope, konfokális pásztázó lézer mikroszkóp)
Near-field Scanning Optical Microscopy (NSOM) [4]

Összetétel vizsgálatok

XRF (X-ray Fluorescent Analysis, röntgen fluoreszcens analízis/spektroszkópia) [1, 3]
Auger elektron spektroszkópia [3]
UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, ultraibolya fotoelektron spektroszkópia) [3]
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy, röntgen fotoelektron spektroszkópia) [3]
elektron mikroszonda (WDXS és EDXS – Wavelength/Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, hullámhossz és energia diszperzív röntgen spektroszkópia) [3]
XRD (X-ray Diffraction, röntgen diffraktometria) [3]
SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]
SNMS (Secondary Neutral Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]

Rezgési spektroszkópiai módszerek (IR, Raman) [5]

9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Heti két alkalommal 2x45 perces előadás

10. Követelmények

a. A szorgalmi időszakban:

Egy zárthelyi a 12. héten. Az aláírás feltétele legalább elégséges zárthelyi eredmény.

b. A vizsgaidőszakban:

Szóbeli vizsga

11. Pótlási lehetőségek Sikertelen zárthelyi pótlása a pótlási héten. Pót-pót ZH a pótlási héten.

12. Konzultációs lehetőségek Igény szerint, előre egyeztetett időpontban és az előadások közötti szünetekben.

13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

[1] Pozsgai Imre: A pásztázó elektronmikroszkópia és az elektronsugaras mikroanalízis alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1995

[2] Pozsgai Imre: Az analítikai elektronmikroszkópia alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1996

[3] O. Brümmer, J. Heydenreich, K. H. Krebs, H. G. Schneider: Szilárd testek vizsgálata elektronokkal, ionokkal és röntgensugárzással – Műszaki Könyvkiadó, Budapest, 1984

[4] Paul E. West, Ph.D.: Introduction to Atomic Force Microscopy: Theory, Practice and Applications (pdf-ben)

[5] Bertóti Imre, Marosi György, Tóth András: Műszaki felülettudomány és orvosbiológiai alkalmazásai – B+V Kiadó, 2003

14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka

Kontakt óra	56
Félévközi készülés órákra
Felkészülés zárthelyire	34
Házi feladat elkészítése
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása	20
Vizsgafelkészülés	40
Összesen	150

15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

Név:	Beosztás:	Tanszék, Int.:
Dr. Harsányi Gábor	egyetemi tanár	ETT
Molnár László Milán	adjunktus	ETT