Belépés címtáras azonosítással
magyar nyelvű adatlap
Fizikai, kémiai és nanotechnológiák
A tantárgy angol neve: Physical, Chemical and Nanotechnologies
Adatlap utolsó módosítása: 2014. április 4.
Anyagtudomány
Fizika
Elektronikai technológia
A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.
A kötelező előtanulmányi rend az adott szak honlapján és képzési programjában található.
A tantárgy célkitűzése az elektronikai gyártástechnológiában alkalmazott folyamatok fizikai és kémiai alapjainak megismertetése, az alkalmazott anyagtudományi alapok technológia orientált elmélyítése, a nanoméretek speciális megközelítésének és leírási módjának megismertetése a technológiában, a természeti törvények innovatív felhasználásának bemutatása a technológiában.
Megszerezhető készségek, képességek: A tantárgy követelményeit eredményesen teljesítő hallgatóktól elvárható, hogy ismerjék az elektronikai technológiák fizikájának és kémiájának elvi és gyakorlati kérdéseit, a leggyakrabban használt berendezések elvi felépítését, és működésének hátterét, az egyes technológiák alapvető jellemzőit, előnyeit és hátrányait
1. Elektronikai rendszerek előállításának fizikai, kémiai és nano-techológiai megközelítése, az előállítási folyamatok áttekintése és csoportosítása. Alkatrész és moduláramkör technológiák alapjai.
2. Egykristályok előállítása. Epitaxiális rétegnövesztés, oxidnövesztés, kémiai rétegleválasztás, diffúzió, ionimplantáció.
3. Litográfiai módszerek (fotolitográfia, elektron- illetve ionsugaras, lézeres és röntgen litográfia).
4. Maratási módszerek: plazma és nedves maratás. Anizotrop maratási technológiák. Térbeli szerkezetek előállítása (üregek, mikrocsatornák, membránok, csövek, tű, híd, konzol, felfüggesztett tömeg).
5. A tömbi és felületi mikromegmunkálás technológiai változatai, technológiai műveletintegráció: elektronikus, mechanikai és optikai funkcióintegráció eszközei, a háromdimenziós struktúraépítés technológiái.
6. Vékonyrétegek fizikai rétegleválasztási technológiái: vákuumpárologtatási és porlasztási technológiák, atom- és molekulaforrások.
7. Rétegek létrehozása nedves kémiai leválasztási módszerekkel (elektrokémiai fém ill. polimer leválasztás, elektroforézis, árammentes és immerziós rétegleválasztás), felületi bevonatok létrehozása galvanizálással.
8. Kerámia és kompozit szerkezetek. Kerámiák technológiája. Többrétegű kerámia és üveg-kerámia szerkezetek típusai és technológiái.
9. Vastagréteg technológia, pasztanyomtatás és beégetés. Vastagréteg hordozók és alapanyagok, passzív alkatrészek és többrétegű szerkezetek technológiája.
10. Vastagrétegek fotolitográfiai, diffúziós és direkt rajzolatkialakítási technológiái. Polimer vastagrétegek. Polimer rétegek létrehozása vákuumpolarizációval, elektrokémiai polimerizációval, Langmuir-Blodgett módszerrel, strukturálása fotolitográfiával.
11. A nanotechnológia alapjai. Nanocsövek, nanovezetékek, speciális multiréteg struktúrák. Nanoobjektumok létrehozása félvezetőkön.
12. Szilárdtestek és vékonyrétegek nanomechanikai tulajdonságai. Felületi plazmonok. Nanotechnológiai vizsgálati eszközök: pásztázószondás mikroszkópia, atomerő-mikroszkóp, pásztázó alagútmikroszkóp.
13. Nanoelektronikai eszközök, elektromos vezetés és transzportfolyamatok nanoobjektumokban.
14. Önszerveződő rendszerek és molekulák. Szerves nanotechnológiai alkalmazások: rétegfunkcionalizálás szerves molekula (enzim, DNS) immobilizációs technológiákkal. Mikro és nanofluidika, alkalmazási lehetőségek.
Az előadásokon a gyakorlati vonatkozások elméleti hátterének mesterdiploma szinthez elvárható elmélyítése kapja a fő hangsúlyt. A gyakorlatokon megismerik a hallgatók az egyes technológiai eljárások kombinációjával megvalósítható legfőbb struktúrákat és szükség szerint az azokon alapuló eszközök működési elveit, konstrukciós problémáit. A gyakorlatok a következő főbb témák köré összpotosulnak:
a) A szorgalmi időszakban:Egy sikeres nagyzárthelyi megírása.
b) A vizsgaidőszakban:A tantárgy írásbeli vizsgával zárul.
1. Fizikai technológiák
Hahn Emil, Szikora Béla, Szilágyi Miklós
Műegyetemi kiadó (1996),azonosító: 51419
2. SENSEDU – ETT, http://www.ett.bme.hu/sensedu/
3. MEMSEDU – ETT, http://www.ett.bme.hu/memsedu/
4. Mikroelektronika és technológia
Mojzes Imre (Szerk.Ed.) Műegyetemi Kiadó (2005)
ISBN 963 420 847 9